?對位平臺是高精度自動化領域中的部件。使用以及經過長時間的使用都是要對齊進行校準的，只有校準才會在后期使用過程中減少誤差的出現，從而減少不良率。那么對位平臺該如何校準呢？下面小編就為您詳細的講解一下。
1、首先需要獲取三組以上，且不同線的X方向和Y方向的預設平移量后，根據其對應關系和預設平移量，確定對位平臺中各個工作軸的移動量，并控制各個工作軸，根據移動量進行移動，實現平移；
2、根據標記點在平移前后的平臺坐標變化量和圖像坐標變化量，計算類型參數，具體的類型參數包括：圖像坐標系在Y方向的分辨率R Y、圖像坐標系在X方向的分辨率Rx、以及圖像坐標系和平臺坐標系之間的夾角ω;
3、記錄事先預設的旋轉角度α后，根據對位平臺各個部件之間對應關系和旋轉角度α，確定對位平臺中各個工作軸的第二移動量，并控制各個工作軸根據第二移動量進行移動，實現旋轉；
4、根據類型參數、第二類型參數和對位平臺在旋轉前，所述標記點的圖像坐標(X0，y0)，獲取對位平臺在移動過程中，標記點的圖像坐標系和平臺坐標系之間的映射關系，所述映射關系為：（x1，Y1)為所述標記點在移動過程中的平臺坐標，（x2，y2)為標記點在移動過程中的圖像坐標。
5、旋轉平移單元，使其達到一定的旋轉角度β，并且控制旋轉角度β相對應的平移量，控制進行相應的旋轉和平移；第二計算單元，用于設定所述標記點在旋轉和平移前的第二平臺坐標為（xK，Yk)，根據所述標記點的平臺坐標（X1,Y1)、標記點在旋轉和平移前的圖像坐標（XK,yK)、標記點在旋轉和平移后的圖像坐標以及所述類型參數，計算第二平臺坐標(Xe,Ye)；
6、判斷單元，用于判斷所述第二平臺坐標（XK，Yk)和平臺坐標（X1Y1)之間的差值是否在規定的范圍內，若是，確定所述第二平臺坐標（XK，Yk)為對位平臺在旋轉前，標記點的平臺坐標（Xtl,Ytl),若否。
7、設定第二平臺坐標（XK，Yk)作為平臺坐標（X1,Y1),并重新獲取其他預設的旋轉角度，并設定所述其他預設的旋轉角度為旋轉角度β，返回由平移量獲取單元執行操作。
